龍門同動架構在封裝前半導體晶圓檢測中的應用

「在封裝前的探測檢測，需要精準定位晶圓的位置，常遇到將良品的晶粒誤判為壞品的誤宰(Overkill)現象，事後必須重新測量，額外花費時間導致生產效率降低，是一個相對棘手狀況

半導體晶圓，探針檢測為半導體晶圓製造完成後，對產品良率進行驗證的重要程序。在這個電信量測的過程中，探針對晶圓的 X、Y 平面定位後，會在Z軸的上下定位與晶圓的檢測點，並且輸入信號，不斷測試，獲得反饋數值後，進行良品判斷。

有時在進行探針檢測時，如遭遇操作人員對於設備操作不熟悉，會嚴重影響檢測的準確性，為了確保探針，進行電性量測時達到100%的穩定性，並且最大的簡化檢測的複雜性，引進龍門架構設計，協助客戶精準晶圓的 X、Y 平面定位，確保半導體晶圓針測((Wafer Probing))的穩定性和準確性。

晶圓測試之探針、電性接點、晶粒、晶圓之關係示意圖

龍門同動是什麼?

「簡單來說就是，兩軸各控一顆馬達，並且讓兩個馬達一起走，一起停，共同控制同一個機械軸向」。(如想知道更多關於龍門同動的細節，請看這篇文章)

客戶需求及羅昇企業提供之解決方案

龍門同動架構是一種理想的解決方案，它能夠提供極高的機台精度和精準的對位能力，適用於大量排列的檢測需求，搭配不同的程式開發及設備規劃更能讓設備開發者更快速切入半導體應用，滿足客戶對精密運動控制與負載的要求。