精準輸送,助力矽晶圓產線品質保證
「晶圓品檢之後需要分倉,我們輸送帶比較長,倉數也多,之前發生過因為停止的位置錯誤,造成晶圓損壞的情形,對我們而言很困擾。」
該公司的晶圓檢測機對接成品倉及NG倉的產線相當複雜,要求高度精確的運輸方式和控制。為了應對這一挑戰,羅昇企業研發團隊提供了技術解決方案,優化整體性能,以確保晶圓在運輸過程中不會受到任何損壞或報廢。
為了確保晶圓能夠安全運輸並準確停放在指定位置,羅昇企業通過採用DI Sensor技術和EtherCAT軸卡,即時傳送資訊並控制伺服馬達的停止距離,以應對實時控制的需求。
客戶需求及羅昇企業提供之解決方案
廠區很大,產線也很長,原本的Motionnet架構設計,需要配置很多冗贅線路
原先使用脈波型式的軸卡,多軸數的應用上需搭配大量的軸卡
傳統脈衝軸卡在生產流程可能會因訊號遺失帶來延誤和風險
自動化產線的運輸帶,產品的間隔不會低於2秒,因此需要即時讀取晶圓成品,並快速判斷需要送到哪一個成品倉
晶圓成品停下位置不固定,因此在運輸的產線上必須非常精準,如自行撰寫需花費大量時間及測試穩定性
產線運輸示意圖
解決方案架構示意圖
解決方案產品優勢
這項解決方案的優勢不僅體現在精準檢測的能力上,還體現在其操作的靈活性和可擴展性上。適用於任何產線較大且複雜的工廠,尤其是像 #半導體,或是 #晶圓 ,需要精準運輸的元件及產品。羅昇企業提供的高度彈性的設計,能夠根據客戶的具體需求進行訂制化調整。而且,該解決方案還支持與其他產線設備的無縫整合,提供更為完善的自動化生產環境。