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精準輸送,助力矽晶圓產線品質保證

精準輸送,助力矽晶圓產線品質保證

「晶圓品檢之後需要分倉,我們輸送帶比較長,倉數也多,之前發生過因為停止的位置錯誤,造成晶圓損壞的情形,對我們而言很困擾。」

該公司的晶圓檢測機對接成品倉及NG倉的產線相當複雜,要求高度精確的運輸方式和控制。為了應對這一挑戰,羅昇企業研發團隊提供了技術解決方案,優化整體性能,以確保晶圓在運輸過程中不會受到任何損壞或報廢。

為了確保晶圓能夠安全運輸並準確停放在指定位置,羅昇企業通過採用DI Sensor技術和EtherCAT軸卡,即時傳送資訊並控制伺服馬達的停止距離,以應對實時控制的需求。

 

客戶需求及羅昇企業提供之解決方案

廠區很大,產線也很長,原本的Motionnet架構設計,需要配置很多冗贅線路

通訊式架構,原先需大量的配線(脈波IO訊號等接線),現在僅一條網路線進行串接與控制,建置輕鬆,維護容易

原先使用脈波型式的軸卡,多軸數的應用上需搭配大量的軸卡

EtherCAT軸卡大幅降低使用傳統脈波軸卡的數量,一般軸卡片只能控4-6軸,但EtherCAT軸卡最多可控32軸

傳統脈衝軸卡在生產流程可能會因訊號遺失帶來延誤和風險

通過網路線進行串接和控制,使得系統建置更加輕鬆,同時透過訊號精準、即時傳送,從而確保晶圓能夠準確運輸至指定位置

自動化產線的運輸帶,產品的間隔不會低於2秒,因此需要即時讀取晶圓成品,並快速判斷需要送到哪一個成品倉

提供RealTime控制需求,整合DI Sensor即時傳送資訊,並控制馬達停止距離,軸卡底層客製化達到客戶需求,可由台達模組DI點位來控制對應馬達進行減速停止功能

晶圓成品停下位置不固定,因此在運輸的產線上必須非常精準,如自行撰寫需花費大量時間及測試穩定性

技術團隊透過多年經驗,協助客製化程式撰寫,成果較原版本的效能與穩定性皆大幅提高​​

產線運輸示意圖

解決方案架構示意圖

解決方案產品優勢

這項解決方案的優勢不僅體現在精準檢測的能力上,還體現在其操作的靈活性和可擴展性上。適用於任何產線較大且複雜的工廠,尤其是像 #半導體,或是 #晶圓 ,需要精準運輸的元件及產品。羅昇企業提供的高度彈性的設計,能夠根據客戶的具體需求進行訂制化調整。而且,該解決方案還支持與其他產線設備的無縫整合,提供更為完善的自動化生產環境。

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