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微小型「Z軸運動」改善半導體封裝與鏡頭壓合應用

微小型「Z軸運動」改善半導體封裝與鏡頭壓合應用 

微型線性旋轉致動器(LPR)是一款高精度且功能強大的致動器,專門設計用於實現直線與旋轉運動的組合,適合在微型化需求日益增長的領域中使用。隨著設備小型化趨勢的持續發展,LPR 致動器的應用在精密的晶片安裝和組裝過程中顯得尤為重要。

產品優勢

小型化設計

直線運動寬度僅12mm,直線加旋轉寬度最小13mm,適合多軸並排使用,應用於空間有限的環境。

高速與高精度

內建高解析度光學尺(0.5μm)與旋轉編碼器(20 bit),提供高速、精準的運動控制。

精密力量控制

壓合力量最小可達20g±5g,內建力量感測器的機型可達5g±1.5g,適合處理精細與脆弱元件。

Soft Landing

支援軟著陸技術,搭配台達驅動器,提供穩定壓合品質並提升良率。

模組化與即插即用

安裝方便,無需額外研發資源,降低開發成本。

高加速度

空載加速度超過6g,性能遠超過傳統馬達+螺桿系統或氣缸技術。

規格及產業應用分類

鏡頭安裝

 

LPR 致動器具備柔性力量控制與高精度,適合處理脆弱的光學部件,確保安裝穩定性與品質。

  • 玻璃鏡頭模組:最大推力7kg,力量誤差<50g

  • 塑膠鏡頭模組:最大推力5kg,力量誤差<20g

電子零件組裝

 

LPR 致動器支援 SMT 和插件技術,確保組裝過程的精準度與穩定性。

  • SMT製程/插件機:最大推力1.5kg,力量誤差<10g

半導體製程

 

半導體前後段製程需精確的 Z 軸運動和細微力量控制。LPR 在晶圓移載、晶片固晶等應用中表現優異,確保脆弱元件的安全處理。

  • 晶片移載/固晶:最大推力0.5kg,力量誤差 <2g

簡易應用介紹

1. 晶圓取放與封裝 應用案例

在半導體製程中,晶圓的取放與封裝對精度與速度有著極高要求。LPL 系列微型線性旋轉致動器憑藉其高速、高精度及 細緻的力量控制技術,在晶圓移載和封裝過程中展現出卓越性能。

 

功能優勢

  1. 客製化設計:根據客戶的尺寸與需求提供客製化平台。

  2. 專業設計建議:提供設計建議,並在設計完成後提供3D圖檔與規格表,便於客戶確認與調整。

  3. 全面技術支援:享有原廠及羅昇的技術支援與售後服務,確保客戶在使用過程中獲得及時的幫助。

 

架構設計圖

2. Soft Landing 軟著陸應用案例

功能優勢

  1. 高效保護:透過低速接觸和壓力控制,降低了對目標物的損傷風險。

  2. 高精度:在壓合過程中,提供穩定的力量輸出和位置控制,確保高質量的製程。

  3. 適用性廣:需要精細力量控制的多種應用場景,如半導體、光學元件組裝及電子零件安裝。

 

DELTA Soft Landing 使用者介面

  • 輔助計算參數設定軟體

  • 藉由圖像化方式設定參數後,會計算出各參數需填入的數值

  • 方便使用者理解各步驟所需設定參數

Soft Landing 主要特性與運行步驟

  1. 位置模式:高速下降
    裝置從初始位置(A點)以高速進行位移,快速接近目標位置(B點)。

  2. 速度模式:低速下降,進入 Soft Landing
    當接近目標點時,速度開始減慢,以低速緩慢接觸目標物,避免衝擊。這段過程即為 Soft Landing,能有效保護脆弱部件並提升良率。
  3. 扭力模式:保持穩定壓力
    當抵達目標位置(C點)後,裝置進入扭力模式,穩定施加預設的壓力,確保壓合品質。
  4. 位置模式:快速回拉
    完成壓合後,裝置快速返回初始位置,為下一個循環做好準備。

 

DELTA方案架構設計圖

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